精製グラファイト：　ポリシリコン製造

水晶反応容器には、精製グラファイト電極上に取り付けられた非常に薄いU型シリコンロッドが含まれています。シリコンロッドは、グラファイト電極の供給する電流によって加熱されます。ガス状トリクロロシランSiHCl3（TCS）は、高温で堆積室に入り込んで分解し、純ケイ素を高温のロッド上に蒸着させます。

蒸着プロセスが完了すると、シリコンロッドは反応器から取り外され、ポリシリコンを回収するために粉砕されます。

Mersen社では、このプロセスの消耗品として用いられる超高純度グラファイト電極をご提供しています。

反応器の水晶室の内部では、微細なシリコン粒子がシランの対向流に放出されます。反応器およびガス注入口はグラファイトヒーターで加熱され、硬質フェルトで断熱されます。シランはシリコンに分解され、微細粒子を膨張させます。純ケイ素は、ビード状で回収されます。

蒸着プロセスでは、大部分のガスがSTC（SiCl4）へと変わります。収率を上げるには、このSTCをTCSとして高温水素添加反応器にて1,500℃の温度で再生利用しなければなりません。

Mersen社は、その格別に高い競争性および包括的な提案から、本市場でリーダーとして認められています。